微觀裝置的制造及其處理技術
  • 一種超強度微針陣列制造方法與流程
    本發明涉及一種微針陣列,特別是涉及超強度微針陣列制造方法。近年來,隨著MEMS技術的飛速發展,微針陣列在生物醫學領域的制造和加工不斷成熟,微針陣列作為一種微創、經濟有效的提高藥物輸送效率的方法受到廣泛關注。但不可避免的存在一些弱點,比如微針的硬度以及表面凹坑問題。發明內容本發明主要解決的技...
  • 一種全玻璃堿金屬原子氣室的制備方法與流程
    本發明屬于精密測量,具體是原子鐘、原子陀螺儀、原子光學磁力儀等領域,涉及一種全玻璃堿金屬原子氣室的制備方法,可用于百微米左右尺寸氣室的制備。技術背景作為目前精密測量領域的新技術,原子鐘、原子陀螺儀、原子光學磁力儀這些新一代量子傳感器都是目前精密測量領域迫切需要的。堿金屬原子氣室作為這些設備...
  • 環境傳感器、環境傳感器中間產品和用于制造多個環境傳感器的方法與流程
    本發明涉及一種耐介質的環境傳感器。本發明還涉及一種環境傳感器中間產品。本發明此外涉及一種用于制造多個耐介質的環境傳感器的方法。用于測量環境因素的傳感器,例如壓力、濕度或氣體傳感器,需要與環境直接接觸以便實現其功能。與此相反,當傳感器用在例如智能手機或無人機中時,要求保護傳感器免受環境影響,...
  • 在前端中在晶片級沉積保護材料以進行早期顆粒和水分保護的制作方法
    本公開總體上涉及半導體器件以及制造該半導體器件的方法,并且更具體地,涉及在前端工藝中在晶片級沉積保護材料以進行早期保護。在制造半導體器件期間,晶片用作在晶片中以及在晶片上構建的微電子器件的襯底,并且可以經歷許多微加工工藝步驟,諸如摻雜或者離子注入、蝕刻、各種材料的沉積和光刻圖案化。最后,單...
  • 微機電系統的制作方法
    本公開涉及一種微機電系統,尤其涉及一種具有聲音轉換器結構的微機電系統。本公開還涉及具有集成過濾結構的微機電系統。微機電系統(MEMS)可以通過半導體技術制造和/或包括半導體材料。這些包括例如層或晶片,該層或晶片包括硅材料、砷化鎵材料和/或其他半導體材料。MEMS結構可以包括層序列,該層序列...
  • 傳感器件及其制造方法與流程
    本發明實施例涉及傳感器件及其制造方法。最近開發了微機電系統(MEMS)器件。MEMS器件包括使用半導體技術制造的器件,以形成機械部件和電氣部件。在壓力傳感器、麥克風、致動器、鏡子、加熱器和/或打印機噴嘴中實施MEMS器件。盡管現有的器件以及形成MEMS器件的方法一般能夠滿足它們預期的目的,...
  • 在壓印光刻工藝中配置光學層的制作方法
    本申請要求2016年12月2日提交的美國臨時申請No.62/429,214的申請日的權益。美國申請No.62/429,214的內容通過引用整體并入本文。本發明涉及在壓印光刻工藝中配置光學層,更具體地涉及在一個加工工序中在襯底/基板上形成尺寸為不同數量級的特征。納米制造(例如,納米壓...
  • 用于帶帽MEMS裝置的垂直塞子的制作方法
    本申請根據35U.S.C.§119(e)要求于2016年11月11日提交的、代理人案卷號G0766.70133US00并且題為“用于帶帽MEMS裝置的垂直塞子”的美國臨時專利申請序列號62/420,893的權益,其全部內容通過引用并入本文。本申請是根據35U.S.C.§120繼續要求于2017年7...
  • 一種復雜構型納米馬達的制備方法與流程
    本發明屬于納米,尤其涉及一種復雜構型納米馬達的制備方法。納米馬達是指能夠將化學能、光能、聲能或其他形式的能量轉化為機械運動并完成復雜任務的納米系統,通常也被稱為納米機器人。它與傳統上的處于熱力學平衡態、只做布朗運動的膠體顆粒有本質區別。它們的運動和相互作用可比擬于自然界中的細胞或...
  • 一種晶圓級三層結構的封裝方法與流程
    本發明涉及半導體制造及微電子器件封裝,更具體地,涉及一種晶圓級三層結構的封裝方法。隨著高集成度、高性能、微型化的需求越來越大,MEMS器件單顆進行封裝的成本越來越大,而晶圓級封裝,可以大大地提高效率,降低成本。在封裝的同時,通過垂向信號引出,可以有效降低電信號互聯引入的寄生電容和減...
  • 一種壓阻式雙軸運動傳感器及其制作方法與流程
    本申請涉及微機電系統,具體涉及一種壓阻式雙軸運動傳感器及其制作方法。微機電系統(MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發...
  • 一種感測膜和微機電裝置的制作方法
    本發明涉及一種微機電,尤其涉及一種感測膜和微機電裝置。微機電裝置包括的電容式傳感器結構一般為一感測膜搭配一背極,形成兩平行板電容板結構以感測振動或壓力變化。其中,感測膜的材料特性決定組件感度性能,但于半導體加工過程所產生的熱殘留應力無法避免。而現有的制程技術仍無法精準的控制薄膜應力...
  • 選擇性刻蝕方法及納米針尖結構的制備方法與流程
    本發明涉及半導體,具體而言,涉及一種選擇性刻蝕方法及納米針尖結構的制備方法。納米尺度針尖應用非常廣泛,例如掃描隧道顯微鏡中的隧道掃描電鏡的STM探針、醫學中的細胞微操作、特種制造業中的微加工等領域,另外納米針尖陣列可以增加某些光學探測器的比表面積,增加敏感度。納米針尖的制備常采用電...
  • 微流體致動器的制作方法
    本案關于一種致動器,尤指一種使用微機電半導體薄膜制作的微流體致動器。【】目前于各領域中無論是醫藥、電腦科技、打印、能源等工業,產品均朝精致化及微小化方向發展,其中微泵、噴霧器、噴墨頭、工業打印裝置等產品所包含的流體致動器為其關鍵技術。隨著科技的日新月異,流體輸送結構的應用上亦愈來愈多元化,...
  • 納米森林結構的制備方法及納米森林結構的調控方法與流程
    本發明涉及納米,具體而言,涉及一種納米森林結構的制備方法及納米森林結構的調控方法。納米森林結構因具有大表體比、多孔隙等特殊表面效應而被廣泛應用在生物檢測以及光電探測等器件上,其直接影響到器件的工作性能、制備成本以及應用范圍。一種制備工藝簡單、特性及形貌可控的納米森林結構可以有效提高...
  • 多參數高通量SERS活性微針的制備方法及活性微針與流程
    本發明屬于生物傳感,涉及一種SERS活性微針的制備方法及活性微針,尤其涉及一種多參數高通量SERS活性微針的制備方法及活性微針。2002年任等報道了基于針灸針構建鈣離子傳感針的電化學檢測方法。2015年起,ZhangGJ等先后報道了基于針灸針構建多巴胺、5-羥色胺和NO等傳感針的...
  • 一種在微型柱子表面上構造單內凹結構的方法與流程
    本發明屬于材料合成,具體涉及一種在微型柱子表面上構造單內凹結構的方法。在表界面浸潤領域,所謂的單內凹結構又叫T形結構或者蘑菇頭結構,即結構頂部與底部之間存在拐角,當液滴放在該結構表面時,液面呈現懸掛在內凹結構間而非陷入凹坑的狀態。因此,具有微型內凹結構的粗糙表面,常常具有很好的排斥...
  • 一種壓力傳感器的陶瓷絕緣層及其制備方法與流程
    本申請涉及電子,尤其涉及一種壓力傳感器的陶瓷絕緣層及其制備方法。目前為了使壓力傳感器具有絕緣性,在壓力傳感器的彈性體和應變片之間涂一層或多層膠把彈性體和應變計粘接在一起,利用膠的絕緣性使得應變計和彈性體不導通。但膠層涂的太薄,壓力傳感器的絕緣強度指標就會降低,膠層涂的太厚,壓力傳感...
  • 具有覆蓋結構的MEMS器件結構的制作方法
    相關申請的交叉引用本申請要求于2013年3月11日提交的名稱為“MEMSDeviceStructurewithaCappingStructure”的美國臨時專利申請第61/775,931號的利益,其全部內容結合于此作為參考。本發明涉及半導體,更具體地,涉及具有覆蓋結構的...
  • 一種MEMS器件及制備方法、電子裝置與流程
    本發明涉及半導體,具體而言涉及一種MEMS器件及制備方法、電子裝置。隨著半導體技術的不斷發展,在傳感器(motionsensor)類產品的市場上,智能手機、集成CMOS和微機電系統(MEMS)器件日益成為最主流、最先進的技術,并且隨著技術的更新,這類傳動傳感器產品的發展方向是規模...
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